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第九十一章 深硅刻蚀工艺(2/2)

层技术所赐。

    王工的专业性评价,大多数人没有听懂,但并不妨碍大家把目光投向陈泉,等待解释。

    “是的。这个陀螺仪,我不准备只采用牺牲层工艺。”

    陈泉没有丝毫慌乱。

    记忆里,陀螺仪采用的加工工艺,的确发生了变化。

    之所以,陈泉要抛出新论文,也跟加速度传感器论文,被《applied physics letters,应用物理快报》采用有些关系。

    应用物理快报,在半导体工艺系列里,算是与mems有关联的期刊里,最好的一波期刊了。其sci影响因子超过了4。

    (真正的mems专业期刊,还没有面世。)

    按理,论文被确定采纳,是件大好事,但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。因为不论是他还是她,都没有任何感觉。

    前两次的过关,陈泉和曲燕秋,都能明显看到,或者感到一些不同。

    例如第一次过关,曲燕秋被实质激活,第二次,干脆苏醒。可现在,没有消息,就是最坏的消息。

    所以两个人,不得不继续拔高心理目标,把论文的层次,再推高一个档次。

    这次的目标,盯叮住了cns(cell, science, nature),这三本顶级超一流期刊,一次就给他搞到位。

    这种超一流期刊论文,在80年代末,不用多,只要有一篇,在国内,就可以开宗立派,直接成立专属实验室,乃至新的专业。

    这个陀螺仪,以及它后面的工艺论文,就是陈泉和曲燕秋两个人,精心选出来的目标。

    “不是牺牲层工艺?还有别的工艺吗?我怎么没有听说?”

    王工眯起眼睛,重新打量起眼前的,年轻得不像话的青年。

    “嗯,姑且算是我的发明吧。这次想申请的专利,就有它一个。”

    国际专利申请的初期,花钱不算太多,交800到一千美元的报名费,就可以有12到18个月的独占期。没有这个时间差,mems项目组,支付不起加速度传感器的专利申请。

    “这个工艺叫什么名字?”

    “嗯,叫”

    陈泉挠了挠头。

    所有的记忆,都是图像记忆,名字什么的,从来都是没有。

    “我还没有给它起名呢。要不就叫深硅刻蚀工艺吧。”

    陈泉按照直觉印象,随口起了个名字。名字说出口后,感觉还不错。

    “深硅刻蚀工艺?那是什么东西?”

    王工满脸迷惑。“能不能给我解释一下,这个工艺是如何实现的?”

    “能倒是能,不过这可就是真正的核心技术了”

    陈泉十分为难,看向四周,满脸的不放心。

    “王工,你就别难为”

    林书强跑过来帮腔。

    “哈,小伙子,你小瞧了我。”

    王工突然虎躯一震,挺直了身体。“只要你能说服我,可以实现眼前的这套陀螺仪,200万的赞助资金,我们航院出了!”

    “你们航院出了?”

    陈泉傻眼了。

    不仅陈泉傻眼了,其他人也都傻眼了。

    黄楚雄傻眼了,赵良材傻眼了,连林书强都傻眼了。

    作为校长,他竟然不知道,下面的航院,居然如此有钱了?

    航院的刘院长,其实也傻眼了。

    航院哪里有什么钱啊!

    但他什么都不说,接着看热闹。

    “我们单独聊聊?”

    赵良材最先反映过来。这位王工,作为航院院长的客人,身份已经呼之欲出了。

    “好。”

    王姓中年人直接出手,把讲台上的模型,搂了下来,揣在怀里。“我们走?”

    “等等,等等!等一下!”

    在一边看热闹,看得正高兴的孙厂长,站了起来。“我怎么觉得不对劲呢?今天的会议主题,不是让我们冰飞对项目进行审查吗?怎么现在就要散会?”